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原位薄膜應力測試儀的主要特點及測試功能

 更新時間:2021-09-23 點擊量:1157
原位薄膜應力測試儀的主要特點:

1、MOS 多光束傳感器技術。

2、單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統設計。


3、適合MOCVD, MBE, Sputter,PLD、蒸収系統等各種真空薄膜沉積系統以及熱處理設備等。


4、薄膜應力各向異性測試和分析功能。


5、生長速率和薄膜厚度測量。(選件)


6、光學常數n&k 測量。(選件)


7、多基片測量功能。(選件)


8、基片旋轉追蹤測量功能。(選件)


9、實時光學反饋控制技術,系統安裝時可設置多個測試點。


10、專業設計免除了測量丌受真空系統振動影響。


原位薄膜應力測試儀的測試功能:


1、實時原位薄膜應力測量。


2、實時原位薄膜曲率測量。


3、實時原位應力*薄膜厚度曲線測量。


4、實時原位薄膜生長全過程應力監控等。

 

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