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納米壓印系統

描述:納米壓印系統,針對大學實驗室、研究所微納米加工研究設計,配備精密的溫度控制和低壓控制系統,使用方便,性能穩定可靠;同時配合專業設計的壓印模板,可實現各種微納米圖形加工,特征線寬小于20nm;

更新時間:2023-09-07
產品型號:
廠商性質:代理商
詳情介紹
品牌其他品牌應用領域環保,化工,生物產業,能源,電子

納米壓印系統,針對大學實驗室、研究所微納米加工研究設計,配備精密的溫度控制和低壓控制系統,使用方便,性能穩定可靠;同時配合專業設計的壓印模板,可實現各種微納米圖形加工,特征線寬小于20nm;

納米壓印系統

應用領域:

光學器件,顯示器,數據存儲,生物技術,半導體芯片,化學合成,先進材料等

技術性能:

*操作方便:對熟悉半導體工藝的人來說,幾小時的培訓就能*掌握設備的使用

*未來有大量的升級功能

*客戶可根據需求定制設備功能

*用戶通過觸摸屏來程序化控制處理過程;

*用戶可自主設定工藝參數;

*真空吸附模板和Wafer

*具備UV固化功能

*Wafer尺寸:4英寸;

*壓印尺寸:2英寸;

*壓印壓力:0~25PSI(可升級到大100PSI)
*模板尺寸:5×0.09英寸
*典型壓印時間:小于5分鐘/wafer

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